반도체·디스플레이·물류자동화 장비 제조업체 세메스가 개발한 `오메가K`가 2020년 1주차 IR52 장영실상을 수상했다.

오메가K는 반도체 포토리소그래피 공정 때 도포 현상(칠감이나 약 따위를 물건 겉에 발라 상이 나타나게 하는 것)을 담당하는 최신 장비다. 포토리소그래피는 감광제(감광액)인 포토레지스트를 실리콘 기판인 웨이퍼에 도포를 하고 빛을 조사해 회로에 패턴을 새겨주는 공정이다. 세메스의 오두영 수석은 "기존 제품이 시간당 184장, 경쟁 제품이 시간당 273장의 도포현상 생산성을 보여주었다면 새롭게 개발한 오메가K는 시간당 280장을 현상할 수 있다"며 "시간당 도포현상을 330장, 450장으로 올릴 수 있는 차기 모델도 개발 중"이라고 밝혔다.


현재 포토리소그래피 공정 장비와 관련한 포토스피너 시장은 일본 도쿄일렉트론(TEL) 등이 세계 시장 90% 이상을 독점하고 있지만 오메가K 개발로 해외 장비 의존도를 줄일 수 있을 것이라고 설명한다. 오메가K는 길이 5.74m·높이 3.47m·폭 2.4m에 이르는 대형 장비다.



 100개가 넘는 공정 장치와 12대의 로봇을 탑재해야 하기 때문에 기존에 4층 구조였던 것을 6층 구조로 보완했다. 로봇들은 광센서가 장착된 `진공 그립 암`이라는 기계 팔을 이용해 실시간으로 실리콘 기판 웨이퍼 틀어짐을 계측·보정해 공정 속도를 크게 향상시켰다. 오 수석은 "실시간으로 웨이퍼의 틀어짐을 찾아낼 수 있는 기술을 적용해 생산성 저하 없이 ±35㎛ 이내 정밀한 위치 보정 성능을 확보하게 됐다"고 설명했다. 제품 공정을 원격으로 모니터링할 수 있어 안정성도 높아졌다. ■ 주최 : 과학기술정보통신부

■ 주관 : 매일경제신문사 한국산업기술진흥협회

[김시균 기자]
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