디스플레이·배터리 검사장비업체 HB테크놀러지가 중국 티엔마에 유기발광다이오드(OLED) 제조용 자동광학검사(AOI) 장비를 공급한다. 40억~50억원 규모로 추정된다.

21일 차이나비딩에 따르면 HB테크놀러지는 샤먼 티엔마 디스플레이 테크놀로지에 AOI 장비 3대를 납품한다. 샤먼 티엔마는 티엔마가 자국 푸젠성 샤먼시에 보유한 6세대(1500x1850mm) 플렉시블 OLED 생산라인 TM18의 수행법인이다.

공급 장비는 각각 전계발광(EL) 마스크 AOI 장비 2대와 박막봉지(TFE) 마스크 AOI 장비 1대다. EL 마스크 AOI 장비는 OLED 발광층 증착 공정에 필요한 파인메탈마스크(FMM) 검사 장비다. FMM은 미세하고 촘촘한 구멍이 뚫린 금속박막이다. 빛을 내는 유기물질 적(R)·녹(G)·청(B)을 각각 픽셀 위치에 정확하게 분리·증착할 때 사용한다. AOI 장비는 FMM의 흠집이나 결함을 찾아 불량 발생을 막는다. 티엔마는 EL 마스크 AOI 장비 성능으로 3마이크로미터(μm) 크기의 결함 감지 성능을 요구했다. 

TFE 마스크 AOI 장비는 OLED TFE 형성 공정에 필요한 마스크 결함을 검사한다. TFE 공정은 무기물층과 유기물층을 번갈아 쌓는다. 이때 사용하는 마스크는 FMM처럼 물질을 분리하지 않고, 균일하게 쌓는다. 봉지층이 형성될 영역을 규정, 증착 영역 경계를 잡아준다. 오픈메탈마스크(OM)와 패터닝 마스크(PM) 두 종류가 있다. 티엔마가 요청한 TFE 마스크 AOI 장비는 1μm 높이의 결함 감지가 가능한 제품이다. 

HB테크놀러지는 FMM 마스크와 TFE용 마스크의 표면 불량, 이물 검사, 휨(warpage) 측정이 가능한 초미세 검사장비를 보유하고 있다. HB테크놀러지는 "AOI 시스템은 초고속 이미지처리 프로세스(DDM 코어) 기술과 광학 알고리즘, 고성능 '시간 지연 완성(TDI)' 스캔 카메라 제어 기술을 적용했다"며 "미세 불량을 정확하고 빠르게 검출하고 분류한다"고 설명했다. 이어 "고감도 기술로 결함 검출은 0.4μm까지 가능하다"고 덧붙였다. TDI 스캔 카메라는 한 번 촬영 시 여러 번 촬영해, 기존 스캔 카메라 대비 더 밝고 선명한 결과물을 출력한다.

HB테크놀러지의 OLED 검사장비 가격은 올해 2분기 기준 대당 평균 15억6300만원이다. HB테크놀러지는 "검사장비는 동일 제품이어도 프로젝트별로 고객 요구사항이 달라 장비별 가격 편차가 크다"고 설명했다. 검사 장비 3대 가격은 40억~50억원으로 추정된다. HB테크놀러지 올해 상반기 매출액 723억원의 약 6% 수준이다. 

HB테크놀러지가 티엔마에 장비를 공급한 것이 처음이 아니다. HB테크놀러지는 "삼성전자·삼성디스플레이 국내외 법인을 포함, 삼성SDI와 티엔마, BOE, CSOT, HKC 등이 주요 거래처"라고 밝혔다. 티엔마는 해당 검사장비를 6세대 플렉시블 OLED 생산라인에 활용할 것으로 보인다. 

최근 티엔마는 TM18 1단계 라인의 노후 설비를 교체·개선하는 보완 투자 중인 것으로 알려졌다. TM18은 1~2단계 라인으로 구성되며, 1단계는 2022년부터 가동을 시작했다.