AP시스템이 중국 비전옥스의 8.6세대 유기발광다이오드(OLED) 생산라인 '허페이 V5'에 엑시머 레이저 어닐링(ELA) 장비와 레이저 리프트 오프(LLO) 장비를 공급한다고 20일 밝혔다. ELA 장비는 단독 공급이다.

허페이 V5는 비전옥스가 550억위안(약 10조4000억원)을 투자해 구축하려는 OLED 라인이다. 비전옥스는 파인메탈마스크(FMM)를 사용하지 않고 노광 공정으로 적녹청(RGB) 화소를 패터닝하는 ViP 라인을 우선 구축한다. 

ELA는 비정질실리콘(a-Si)을 폴리실리콘(LTPS)으로 전환할 때 사용하는 장비다. 전자 이동속도를 100배 이상 높인다. 고해상도 OLED 패널을 구현할 때 필요하다. LLO는 플렉시블 OLED에서 유리기판을 분리할 때 사용한다. 폴리이미드(PI) 기판과 유리기판에 레이저를 쏴서 두 기판을 분리한다. 증착된 유기물층에 손상이 가지 않도록 레이저 세기 균일도, 열 영향 최소화 등 기술 안정성과 정밀도가 중요하다. 

AP시스템 관계자는 "비전옥스의 5.5세대 쿤산 V1, 6세대 구안 V2, 허페이 V3에 이어 8세대 V5에서도 ELA를 단독 공급하고, LLO도 공급한다"며 "V1~V5 모든 라인에 핵심 레이저 장비를 공급한 기술 신뢰도를 축적한 결과"라고 강조했다. 

비전옥스 등 중국 패널 업체는 대규모 투자를 집행 중이다. 성장세인 IT·차량 OLED 시장을 노리고 있다. BOE는 지난해 3월 쓰촨성 청두에서 630억위안(약 13조원) 규모 8세대 OLED B16 라인 건설에 착수했다. CSOT는 올해 하반기 295억위안(약 6조1000억원) 규모 T8 라인 투자를 확정했다. 티엔마는 신규 투자를 검토 중이다.

IT·차량 OLED 수요는 2025년 2200만대에서 2032년 1억700만대로 5배 확대될 것이라고 시장조사업체 옴디아는 전망했다. 노트북·태블릿 OLED는 연평균 41% 고성장을 예상했다. OLED 침투율도 2023년 기준 노트북 4%, 태블릿 4%에서 2032년 각각 70%, 37%까지 급증할 것으로 전망했다. 

AP시스템은 반도체 레이저 공정 장비 비중도 확대할 계획이다. AP시스템은 "고대역폭메모리(HBM) 패키징용 디본딩, 다이싱 레이저 장비를 지속 개발해 반도체 영역에서 신사업 기반을 강화하겠다"고 강조했다.